1

结构形式

单层英管+水冷屏蔽罩

双层水冷石英管

双层水冷石英管

2

晶体尺寸（吋）

4-6

4-6

6-8

3

内石英管尺寸（mm）

Φ380×1100

Φ380×1170

Φ410×1170

4

加热方式

电磁感应

电磁感应

电磁感应

5

加热功率（kw）

60

40

40

6

加热频率（kHz）

8

8

8

7

**温度（℃）

2400

2400

2400

8

测温方式

上、下

上、下

上、下

9

温度测控范围（℃）

1000-3000

1000-3000

1000-3000

10

温度控制精度（℃）

±0.5

±0.5

±0.5

11

控温模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

12

炉内真空度（Pa）

6．00E-04

6．00E-04

6．00E-04

13

抽气速率（mbar*l/s）

800L/s

800L/s

800L/s

14

漏气率（mbar*l/s）

5.00E-09

5.00E-09

5.00E-09

15

线圈升降速度（mm/h）

0.02-2

0.02-2

0.02-2

16

线圈升降距离（mm）

≥200

≥300

≥300

17

坩埚升降速度（mm/min）

≥150

≥150

≥150

18

坩埚升降距离（mm）

≥1250

≥850

≥850

19

坩埚旋转速度（rpm）

0.1-20

0.1-20

0.1-20

20

炉盖开启方式

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

21

气体源

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

22

冷却水压力（MPa）

0.15-0.2

0.15-0.2

0.15-0.2

23

冷却水流量（m3/h）

5

6

6

24

冷却水温度（℃）

（22-26）±2℃

（22-26）±2℃

（22-26）±2℃

25

冷却水质

PH6-8，软化纯净水

PH6-8，软化纯净水

PH6-8，软化纯净水

26

装卸料位置

下

上、下

上、下

27

整机控制方式

全自动

全自动

全自动

28

主机尺寸

1400×2100×3800

1400×2100×3600

1680×2200